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Dispositivos integrados em nanoescala

A detecção de entidades químicas e biológicas baseada em dispositivos semicondutores foi demonstrada através do uso de dispositivos de efeito de campo em micro e nanoescala e variantes próximas. Embora os nanotubos de carbono e os nanofios de silício tenham sido demonstrados como biossensores de molécula única, os métodos de fabricação usados ​​para criar esses dispositivos normalmente não são compatíveis com as técnicas modernas de fabricação de semicondutores e sua integração em larga escala é problemática. Essas deficiências são abordadas por avanços recentes nas técnicas de fabricação microeletrônica que resultaram na realização de estruturas semelhantes a nanofios. Aqui relatamos um método para fabricar nanofios de silício em locais precisos usando tais técnicas. Nosso método permite a realização de sensores verdadeiramente integrados, capazes de produzir matrizes densas.

Revistas relacionadas de dispositivos integrados em nanoescala
ACS Nano, Advanced Functional Materials, Journal of Physical Chemistry Letters, Biomaterials, Small, Nano Research

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